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等离子清洗是指气体分子在高压、真空等条件下会分解出高速运动的原子和分子,这些原子和分子通过解离、碰撞产生等离子体,产生的等离子体作用于贵罢翱玻璃表面,可以使表面分子的化学键重组,因此不仅可以除去残留的有机物杂质,还能形成新的表面特性,改善玻璃表面的浸润性,同时提高贵罢翱的功函数。