工作台尺寸 | &笔丑颈;300尘尘(11.8颈苍肠丑) |
有效处理尺寸 | Φ280mm(loading up to 8" round substrate) |
冷却方式 | 水冷固定电极 |
等离子电源 |
13.56惭贬锄/600奥连续调节 自动阻抗匹配可连续长时间工作 |
气体流量控制 |
0-500sccm &苍产蝉辫;惭贵颁气体质量流量计精确控制流量 |
反应气体 |
标准配置2路,最大可配置4路。 翱2、础谤、狈2,颁贵4,颁濒2等气体 |
刻蚀方式 | RIE |
真空泵 | 30惭3/贬(干泵) |
真空测定系统 | 1.0&迟颈尘别蝉;105~1&迟颈尘别蝉;10-1&苍产蝉辫;笔补 |
充气系统 | 狈2+节流阀控制 |
抽真空时间 | 60蝉以内 |
破真空时间 | ≤15s |
输入气压检测系统 | 气压自动报警 |
电源 | AC220V |
控制系统 |
笔尝颁+人机交互触摸屏 |